Octafluorocyclobutan (C4F8)là một dẫn xuất cyclobutane được flo hóa hoàn toàn được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp chuyên biệt tận dụng các đặc tính đặc biệt của nó:
- Chất cách điện - Với độ bền điện môi cao và khả năng dập hồ quang, C4F8 rất phù hợp để cách điện và bảo vệ các thiết bị điện cao áp.
- Khắc plasma - Ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng C4F8 làm khí cấp cho lò phản ứng làm sạch và khắc plasma trong quá trình chế tạo vi mạch.
- Làm sạch buồng – Các chất cặn bên trong buồng lắng đọng hơi, chẳng hạn như buồng được sử dụng cho CVD và PVD, có thể được loại bỏ thông qua quá trình làm sạch bằng plasma C4F8.
- Sợi quang - C4F8 được sử dụng làm khí xử lý trong sản xuất sợi quang có tổn thất thấp để lắng đọng các lớp kính ốp pha tạp flo.
- Tổng hợp polyme - C4F8 có thể hỗ trợ kiểm soát các phản ứng trùng hợp và tổng hợp các fluoropolyme đặc biệt bằng cách loại bỏ các gốc tự do và hạn chế sự phát triển của chuỗi.
- Khí đánh dấu – Khả năng phát hiện cao và độc tính thấp của C4F8 khiến nó phù hợp làm chất đánh dấu khí để kiểm tra rò rỉ và các ứng dụng chẩn đoán khác.
Nhờ tính ổn định hóa học và nhiệt kết hợp với đặc tính điện môi và ăn mòn, octafluorocyclobutane đã đảm bảo một số vai trò thích hợp nhưng quan trọng, đặc biệt là trong sản xuất điện tử.
Thời gian đăng: Sep-07-2023