Argon florua, với công thức hóa học ArF, là một loại khí laser kích thích phổ biến.Laser Excimer sử dụng hỗn hợp khí phản ứng tạo thành các phân tử Excimer có thời gian tồn tại ngắn để phát ra các chùm bức xạ laser cực tím.Một số thông tin chính về ArF:
-
Thành phần – Khí ArF bao gồm 0,1% flo và 99,9% argon được cân bằng với khí đệm như neon hoặc heli.
-
Bước sóng cực tím – Laser ArF phát ra ánh sáng kết hợp ở 193 nanomet, một trong những bước sóng UV ngắn nhấtđược tạo ra bởi các chất kích thích.
-
Đầu ra dạng xung – Sự phát laser xảy ra ở các xung nano giây với công suất cực đại cao đạt tới gigawatt nhưng chu kỳ hoạt động thấp.
-
Hệ thống làm mát – Khí ArF phải được tuần hoàn và làm mát đến nhiệt độ đông lạnh khoảng -60°C để có thể hình thành chất kích thích.
-
Ứng dụng – Ánh sáng tia cực tím 193nm được sử dụng rộng rãi trong quang khắc để sản xuất chip bán dẫn và gia công vi mô chính xác khác.
Với bước sóng ngắn và hiệu suất đáng tin cậy, laser kích thích argon fluoride là nguồn UV linh hoạt để xử lý các vật liệu tiên tiến đòi hỏi độ phân giải tối đa.
Thời gian đăng: 12-09-2023