Cácargon floruahoặc laser kích thích ArF dựa vào các đặc tính độc đáo của hỗn hợp khí ArF để tạo ra chùm tia cực tím chính xác 193 nanomet.Dưới đây là một cái nhìn sâu hơn về quá trình phát laser:
-
Phóng điện khí – Áp dụng dòng điện cao áp vào khí ArF sẽ tạo ra các electron tự do và ion argon.
-
Sự hình thành Excimer - Các nguyên tử argon và phân tử flo liên kết với nhau để tạo thành các phân tử excimer ở trạng thái kích thích tồn tại trong thời gian ngắn.
-
Phát xạ kích thíchion – Các chất kích thích phân hủy nhanh chóng trở lại các nguyên tử không liên kết, giải phóng các photon gây ra sự giải phóng nhiều photon hơn.
-
Khoang quang học - Ánh sáng tia cực tím phát ra nảy giữa gương sau và một phần gương trước sẽ kích thích giải phóng ánh sáng nhiều hơn.
-
Xung nano giây – Bản chất không cân bằng của phản ứng kích thích giới hạn thời lượng xung ở mức nano giây với mức công suất cực đại megawatt.
-
Phân phối chùm tia – Chùm tia đầu ra được tập trung và quét trên bề mặt mục tiêu bằng các thành phần quang học chính xác.
Thông qua quá trình này, trạng thái kích thích nhất thời trong khí argon florua có thể tạo ra các xung cực tím 193nm năng lượng cao một cách hiệu quả cho các ứng dụng gia công vi mô đòi hỏi độ chính xác tối đa.
Thời gian đăng: 12-09-2023