Bất chấp những ưu điểm của chúng, việc kết hợp khí laser kích thích đi kèm với một số thách thức kỹ thuật cố hữu đòi hỏi các biện pháp an toàn và kiểm soát kỹ thuật cẩn thận:
Độc tính – Các khí halogen phản ứng như flo và clo có độc tính cấp tính đòi hỏi phải có hệ thống xử lý khí và máy lọc.
- Tính ăn mòn –Hỗn hợp khí Excimercực kỳ ăn mòn các kim loại thông thường và các vật liệu cần có thiết bị chuyên dụng.
- Khả năng phản ứng – Phản ứng phụ có thể tạo ra các sản phẩm phụ dễ nổ, độc hại hoặc ăn mòn cần phải ngăn chặn.
- Tuổi thọ ngắn – Các phân tử kích thích nhất thời phân rã nhanh chóng, hạn chế thời gian phát xung laser.
- Sự cạn kiệt – Các nguyên tử khí quý và phân tử halogen bị tiêu hao trong quá trình vận hành cần có hệ thống bổ sung kín.
- Làm lạnh – Duy trì khí ở nhiệt độ đông lạnh đòi hỏi thiết bị làm lạnh phức tạp và tốn kém.
- Quá trình oxy hóa - Các tạp chất như hơi nước hoặc oxy phải được giữ ở mức dưới phần triệu để tránh mất hiệu suất.
- Chi phí – Khí hiếm nguyên chất và khí halogen cùng với thiết bị chính xác dẫn đến chi phí cao.
Với chuyên nghiệpTheo các giao thức an toàn, tái chế khí và kiểm soát kỹ thuật tiên tiến, các mối nguy hiểm và khó khăn của khí laser Excimer có thể được giảm thiểu để tận dụng tối đa khả năng phát tia cực tím độc đáo và có giá trị của chúng.
Thời gian đăng: Sep-08-2023