Carbon tetraflorua, với công thức hóa học CF4, là một loại khí fluorocarbon vô cơ.Nó có dạng hình học phân tử tứ diện bao gồm một nguyên tử carbon trung tâm được bao quanh bởi bốn nguyên tử flo.Dưới đây là một số tính chất vật lý và hóa học đáng chú ý của CF4:
Cacbon tetraflorua (CF4)đã trở thành một loại khí thiết yếu cho ngành công nghiệp điện tử, đặc biệt là trong quá trình ăn mòn plasma và lắng đọng hơi hóa học.Với hàm lượng flo cao, CF4 phân tách thành các gốc F phản ứng và các ion ăn mòn có chọn lọc các vật liệu như silicon dioxide trên silicon.Điều này cho phép tạo khuôn và định hình chính xác các lớp oxit cách điện trên các tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất vi mạch.CF4 còn hữu ích trong việc làm sạch buồng lắng nhờ khả năng loại bỏ các cặn chứa silicon cứng đầu.Ngoài ra, CF4 có thể khắc chọn lọc vonfram và titan mà không loại bỏ nhôm.Với các điều kiện plasma có thể điều chỉnh được, plasma CF4 cho phép khắc axit dị hướng cần thiết để duy trì các thành bên thẳng đứng trên các đặc điểm khắc trong sản xuất mạch tích hợp.
Ở nhiệt độ và áp suất tiêu chuẩn, nó là chất khí không màu, không cháy.Nó có mùi thanh tao hơi nhạt.Nó hòa tan vừa phải trong dung môi hữu cơ.Nó có mật độ cao 3,72 g/L ở STP, nặng hơn không khí khoảng 3 lần.Nó là một trong những florua cacbon ổn định về mặt hóa học và nhiệt nhất.
CF4 vẫn trơ trong phạm vi nhiệt độ rộng lên tới khoảng 500°C.Nó không thể dễ dàng hóa lỏng ngoại trừ dưới áp suất cao.Một đặc tính quan trọng là độ âm điện và độ bền điện môi cao, cao hơn không khí khoảng 2 lần.Điều này làm cho nó rất phù hợp làm môi trường điện môi dạng khí.Nhìn chung, CF4 là một loại khí có tính đối xứng cao, ổn định và không phản ứng ngoại trừ khi có nhiệt độ cực cao hoặc phóng điện.
Thời gian đăng: Oct-16-2023