Khí laser Excimer, còn được gọi là khí exciplex, được sử dụng làm môi trường phát laser trong laser excimer.Chúng có khả năng phát ra chùm tia cực tím cường độ cao thông qua quá trình hình thành và phân rã của các phân tử kích thích hoặc chất làm mờ có thời gian tồn tại ngắn.Dưới đây là một số tính năng chính củakhí kích thích:
- Thành phần – Chúng bao gồm một loại khí hiếm như argon hoặc krypton trộn với khí halogen phản ứng, thường là flo hoặc clo.Sự kết hợp phổ biến là ArF và KrF.
- Sự hình thành Excimer – Nguyên tử khí hiếm và khí halogen liên kết tạm thời khi được kích thích điện để tạo thành excimer, một dimer ở trạng thái kích thích và nhanh chóng phân hủy.
- Phát xạ tia cực tím – Quá trình phân rã này giải phóng một photon trong phạm vi tia cực tím.Hỗn hợp khí khác nhau phát ra các bước sóng UV khác nhau phù hợp cho các ứng dụng khác nhau.
- Đầu ra xung – Laser Excimer tạo ra các chùm xung có thời lượng xung rất ngắn tính bằng nano giây và công suất cực đại cao là megawatt.
- Hệ thống làm mát – Khí được đưa vào hệ thống tuần hoàn khép kín và được làm lạnh đến nhiệt độ đông lạnh để kích hoạt phản ứng kích thích.
Các đặc tính độc đáo của khí laser excimer, đặc biệt là khả năng tạo ra ánh sáng laser cực tím mạnh, khiến chúng trở nên hữu ích trong các quy trình công nghệ và công nghiệp đa dạng đòi hỏi nguồn UV mạnh.
Thời gian đăng: Sep-08-2023