Avantajlarına rağmen, excimer lazer gazlarının dahil edilmesi, dikkatli mühendislik kontrolleri ve güvenlik önlemleri gerektiren bazı doğal teknik zorluklarla birlikte gelir:
Toksisite – Flor ve klor gibi reaktif halojen gazlar, gaz işleme sistemleri ve yıkayıcılar gerektiren akut toksisitelere sahiptir.
- Aşındırıcılık –Excimer gaz karışımlarısıradan metallere ve özel ekipman gerektiren malzemelere karşı son derece aşındırıcıdır.
- Reaktivite – Yan reaksiyonlar, önlenmesi gereken patlayıcı, toksik veya aşındırıcı yan ürünler üretebilir.
- Kısa ömür – Geçici eksimer molekülleri hızla bozunarak lazer darbesinin süresini sınırlar.
- Tükenme – Kapalı yenileme sistemleri gerektiren çalışma sırasında soy gaz atomları ve halojen molekülleri tüketilir.
- Kriyojenik – Gazların kriyojenik sıcaklıklarda tutulması, karmaşık ve maliyetli soğutma ekipmanı gerektirir.
- Oksidasyon – Performans kaybını önlemek için su buharı veya oksijen gibi yabancı maddeler milyonda parçanın altında tutulmalıdır.
- Maliyet – Saf soy gazlar ve halojen gazlar ile hassas ekipmanlar yüksek maliyetlere neden olur.
Profesyonel ilegüvenlik protokolleri, gaz geri dönüşümü ve ileri mühendislik kontrolleri uyarınca, excimer lazer gazlarının tehlikeleri ve zorlukları, benzersiz ve değerli ultraviyole lazer lazer yeteneklerinin tam olarak kullanılması için azaltılabilir.
Gönderim zamanı: Eylül-08-2023