CF4 kimyasal formülüne sahip karbon tetraflorür, inorganik bir florokarbon gazıdır.Dört flor atomu ile çevrelenmiş merkezi bir karbon atomundan oluşan tetrahedral bir moleküler geometriye sahiptir.CF4'ün dikkate değer fiziksel ve kimyasal özelliklerinden bazıları şunlardır:
Karbon tetraflorür (CF4)elektronik endüstrisi için, özellikle de plazma aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme proseslerinde vazgeçilmez bir gaz haline gelmiştir.Yüksek flor içeriğiyle CF4, silikon dioksit gibi malzemeleri silikon üzerinde seçici olarak aşındıran reaktif F radikallerine ve iyonlara ayrışır.Bu, mikroçip üretimi sırasında yarı iletken levhalar üzerindeki yalıtkan oksit katmanlarının hassas şekilde şekillendirilmesine ve şekillendirilmesine olanak tanır.CF4 aynı zamanda inatçı silikon içeren kalıntıları temizleme özelliği sayesinde biriktirme odalarının temizlenmesi için de kullanışlıdır.Ek olarak CF4, alüminyumu çıkarmadan tungsten ve titanyumu seçici olarak aşındırabilir.Ayarlanabilir plazma koşullarıyla CF4 plazmalar, entegre devre üretimi için kazınmış özelliklerde dikey yan duvarların korunması için gerekli olan anizotropik dağlamayı mümkün kılar.
Standart sıcaklık ve basınçta yanıcı olmayan, renksiz bir gazdır.Hafif hafif eterik bir kokusu var.Organik çözücülerde orta derecede çözünür.STP'de 3,72 g/L'lik yüksek bir yoğunluğa sahiptir ve havadan yaklaşık 3 kat daha ağırdır.Kimyasal ve termal olarak en kararlı karbon florürlerden biridir.
CF4, yaklaşık 500°C'ye kadar geniş bir sıcaklık aralığında atıl kalır.Yüksek basınç dışında kolaylıkla sıvılaştırılamaz.Önemli bir özelliği, havadan yaklaşık 2 kat daha yüksek olan yüksek elektronegatifliği ve dielektrik dayanımıdır.Bu onu gazlı bir dielektrik ortam olarak çok uygun hale getirir.Genel olarak CF4, aşırı ısınma veya elektrik deşarjlarının varlığı dışında oldukça simetrik, kararlı ve reaktif olmayan bir gazdır.
Gönderim zamanı: 16 Ekim 2023