Октафторциклобутан (C4F8)представляет собой полностью фторированное производное циклобутана, используемое в ряде специализированных промышленных применений, в которых используются его отличительные свойства:
- Диэлектрический изолятор. Обладая высокой диэлектрической прочностью и способностью гашения дуги, C4F8 хорошо подходит для изоляции и защиты электрооборудования высокого напряжения.
- Плазменное травление. Полупроводниковая промышленность использует C4F8 в качестве сырьевого газа для реакторов плазменного травления и очистки в процессах изготовления микрочипов.
- Очистка камеры. Отложения внутри камер парового осаждения, например те, которые используются для CVD и PVD, можно удалить с помощью плазменной очистки C4F8.
- Волоконная оптика – C4F8 используется в качестве технологического газа при производстве оптических волокон с низкими потерями для нанесения слоев оболочного стекла, легированного фтором.
- Синтез полимеров. C4F8 может помочь контролировать реакции полимеризации и синтезировать специальные фторполимеры, удаляя свободные радикалы и ограничивая рост цепей.
- Индикаторный газ. Высокая обнаруживаемость и низкая токсичность C4F8 делают его пригодным в качестве газообразного индикатора для испытаний на утечки и других диагностических приложений.
Благодаря своей химической и термической стабильности в сочетании с диэлектрическими и травильными свойствами октафторциклобутан занял определенную нишу, но важную роль, особенно в производстве электроники.
Время публикации: 07 сентября 2023 г.