Существует множествоэксимерный лазерный газкомбинации, используемые в промышленности и науке, в зависимости от желаемой длины волны ультрафиолета и уровня энергии импульса.Некоторые из наиболее распространенных и полезных смесей включают в себя:
- KrF (фторид криптона) – генерирует УФ-излучение с длиной волны 248 нм, популярное в литографии интегральных схем.Высокая эффективность и качество луча.
- ArF (фторид аргона) – обеспечивает ультрафиолетовое излучение с длиной волны 193 нм, идеально подходящее для современного производства полупроводников.Меньшая энергия импульса.
- XeCl (хлорид ксенона) – излучает УФ-излучение с длиной волны 308 нм с высокой энергией импульса, используемое в лазерной ангиопластике.
- XeF (фторид ксенона) – выход УФ-излучения с длиной волны 351 нм, подходит для реагентов импульсного фторирования.Импульсы очень высокой энергии.
- F2 (фтор) – чистый газообразный фтор производит вакуумное УФ-излучение с длиной волны 157 нм, одну из самых коротких длин волн.
- KrCl (хлорид криптона) – излучение с длиной волны 222 нм, оптимизированное для процедур офтальмохирургии.Более точная абляция тканей.
- ArCl (хлорид аргона) – УФ-излучение с длиной волны 175 нм, подходит для исследований в области глубокой УФ-спектроскопии.
- KrBr (бромид криптона) – эксимерная среда с длиной волны 206 нм и повышенной оптической стабильностью, наиболее подходящая для промышленного использования.
Выбор оптимальной газовой смеси для эксимерного лазера зависит от требований конкретного применения к энергии импульса, стабильности и точности длины волны ультрафиолета.Правильная газовая среда максимизирует эффективность эксимерных лазеров.
Время публикации: 08 сентября 2023 г.