фторид аргона, с химической формулой ArF, является популярным газом для эксимерных лазеров.Эксимерные лазеры используют химически активные газовые смеси, которые образуют короткоживущие эксимерные молекулы для испускания всплесков ультрафиолетового лазерного излучения.Некоторые ключевые факты об ArF:
-
Состав – газ ArF состоит из 0,1% фтора и 99,9% аргона, сбалансированного буферным газом, таким как неон или гелий.
-
Длина ультрафиолетовой волны. ArF-лазеры излучают когерентный свет с длиной волны 193 нанометра, одной из самых коротких длин волн УФ-излучения.генерируются эксимерами.
-
Импульсный выход – генерация происходит в виде наносекундных импульсов с высокой пиковой мощностью, достигающей гигаватт, но с низким рабочим циклом.
-
Системы охлаждения. Газ ArF необходимо циркулировать и охлаждать до криогенной температуры около -60°C, чтобы обеспечить образование эксимеров.
-
Применение. УФ-излучение с длиной волны 193 нм широко используется в фотолитографии при производстве полупроводниковых чипов и других прецизионных микрообработках.
Благодаря короткой длине волны и надежной работе эксимерные лазеры на фториде аргона являются универсальным источником УФ-излучения для сложной обработки материалов, требующей максимального разрешения.
Время публикации: 12 сентября 2023 г.