Продукты

Новости

Узнайте больше новостей отрасли

Как работают эксимерные лазеры на фториде аргона

 

фторид аргонаЭксимерный лазер ArF использует уникальные свойства газовой смеси ArF для генерации точного ультрафиолетового лазерного луча длиной 193 нанометра.Вот более детальный взгляд на процесс лазерной печати:

 

  • Газовый разряд – применение высоковольтного электрического разряда к газу ArF создает свободные электроны и ионы аргона.

  • Образование эксимера. Атомы аргона и молекулы фтора связываются с образованием молекул эксимера в короткоживущих возбужденных состояниях.

  • Стимулированное излучениеион – эксимеры быстро распадаются обратно на несвязанные атомы, высвобождая фотоны, вызывая высвобождение большего количества фотонов.

  • Оптическая полость – излучаемый ультрафиолетовый свет отражается между задним зеркалом и частично передним зеркалом, стимулируя дальнейшее высвобождение света.

  • Наносекундные импульсы. Неравновесная природа эксимерной реакции ограничивает продолжительность импульса до наносекунд с пиковыми уровнями мощности в мегаватты.

  • Доставка луча – выходной луч фокусируется и сканируется по поверхности цели с помощью прецизионных оптических компонентов.

 

Благодаря этому процессу переходное эксимерное состояние в газообразном фториде аргона может эффективно генерировать высокоэнергетические ультрафиолетовые импульсы с длиной волны 193 нм для применений микрообработки, требующих максимальной точности.


Время публикации: 12 сентября 2023 г.