фторид аргонаЭксимерный лазер ArF использует уникальные свойства газовой смеси ArF для генерации точного ультрафиолетового лазерного луча длиной 193 нанометра.Вот более детальный взгляд на процесс лазерной печати:
-
Газовый разряд – применение высоковольтного электрического разряда к газу ArF создает свободные электроны и ионы аргона.
-
Образование эксимера. Атомы аргона и молекулы фтора связываются с образованием молекул эксимера в короткоживущих возбужденных состояниях.
-
Стимулированное излучениеион – эксимеры быстро распадаются обратно на несвязанные атомы, высвобождая фотоны, вызывая высвобождение большего количества фотонов.
-
Оптическая полость – излучаемый ультрафиолетовый свет отражается между задним зеркалом и частично передним зеркалом, стимулируя дальнейшее высвобождение света.
-
Наносекундные импульсы. Неравновесная природа эксимерной реакции ограничивает продолжительность импульса до наносекунд с пиковыми уровнями мощности в мегаватты.
-
Доставка луча – выходной луч фокусируется и сканируется по поверхности цели с помощью прецизионных оптических компонентов.
Благодаря этому процессу переходное эксимерное состояние в газообразном фториде аргона может эффективно генерировать высокоэнергетические ультрафиолетовые импульсы с длиной волны 193 нм для применений микрообработки, требующих максимальной точности.
Время публикации: 12 сентября 2023 г.