Покатетрафторид углеродаимеет хорошо зарекомендовавшее себя применение в качестве диэлектрического газа и плазменного травителя, новые области применения продолжают использовать его уникальные свойства:
-
прекурсор для синтеза фторполимеров – плазма CF4 способствует нанесению защитных пленок и порошков фторуглеродных полимеров.
-
конверсия ядерного топлива - CF4 может производить гексафторид урана для обогащения урана.
-
очистка полупроводников – плазма CF4 удаляет остатки диоксида кремния и фоторезиста.
-
индикаторный газ - используется для обнаружения утечек и структуры потока при очень низких концентрациях.
-
модификация поверхности линзы – обработка CF4 улучшает гидрофобность оптических линз
-
Охлаждение ускорителя частиц – отличная теплоемкость подходит CF4 для охлаждения сверхпроводящих секций
-
пучки отрицательных ионов – введение CF4 в дуоплазматроны увеличивает выходной ток отрицательных ионов
Чрезвычайная химическая стабильность в сочетании с легко диссоциируемой природой CF4 обеспечивает универсальную комбинацию, которую исследователи продолжают находить новые применения в научных и промышленных областях.
Время публикации: 24 октября 2023 г.