Некоторые из наиболее полезных свойств тетрафторида углерода связаны с его электрическими и диэлектрическими характеристиками.Под воздействием сильных электрических полейCF4разлагается с выделением высокореактивных ионов фтора и электронов.
Помимо травления, тетрафторид углерода также способствует нанесению тонких пленок при изготовлении полупроводниковых приборов.При использовании в качестве газа-прекурсора в системах химического осаждения из паровой фазы фтор легко диссоциирует от CF4, что позволяет наносить слои диоксида кремния, легированного фтором.Эти изоляционные слои из фторированного оксида имеют более низкую диэлектрическую постоянную по сравнению со стандартным SiO2, что обеспечивает более быстрые электрические сигналы в высокопроизводительных микрочипах.CF4 также используется для нанесения слоев фторуглеродного полимера, которые действуют как антибликовые покрытия на фоторезистах в процессе литографии.Кроме того, плазменное усиление на основе CF4 способствует осаждению силикатного стекла, легированного фтором, альтернативного изолятора с более низкой диэлектрической проницаемостью, чем чистый кремнезем.
В частности, CF4 имеет превосходную диэлектрическую прочность — 89 кВ/см по сравнению с всего лишь 30 кВ/см у воздуха.Эта способность изолировать высокое напряжение в компактном пространстве делает CF4 идеальным в качестве газообразных диэлектриков в генераторах, ускорителях частиц и мощном радиочастотном оборудовании.
Кроме того, CF4 демонстрирует превосходные возможности гашения дуги.При возникновении дуги CF4 легко диссоциирует с образованием ионизированных и радикальных частиц, которые облегчают прерывание тока и охлаждение.Это позволяет CF4 быстро гасить дуги в автоматических выключателях и распределительном оборудовании.
Кроме того, впечатляющая термическая стабильность CF4 сохраняет его газообразным и инертным в присутствии электрических разрядов и высоких температур, которые могут привести к разложению других соединений.Все эти электрические качества делают тетрафторид углерода незаменимым компонентом для создания компактных и эффективных энергосистем.
Время публикации: 16 октября 2023 г.