Несмотря на свои преимущества, включение эксимерных лазерных газов сопряжено с некоторыми техническими проблемами, требующими тщательного технического контроля и мер безопасности:
Токсичность. Реактивные галогенные газы, такие как фтор и хлор, обладают острой токсичностью, требующей использования систем обработки газов и скрубберов.
- Коррозионная активность –Эксимерные газовые смесичрезвычайно агрессивны по отношению к обычным металлам и материалам, что требует специального оборудования.
- Реактивность. Побочные реакции могут привести к образованию взрывоопасных, токсичных или коррозийных побочных продуктов, которые необходимо предотвратить.
- Короткий срок службы. Переходные эксимерные молекулы быстро распадаются, что ограничивает продолжительность лазерного импульса.
- Истощение – атомы благородных газов и молекулы галогенов расходуются во время работы, что требует герметичных систем пополнения.
- Криогеника. Для поддержания газов при криогенных температурах требуется сложное и дорогостоящее холодильное оборудование.
- Окисление. Примеси, такие как водяной пар или кислород, должны поддерживаться на уровне ниже частей на миллион, чтобы избежать потери производительности.
- Стоимость. Чистые благородные газы и галогенные газы вместе с прецизионным оборудованием приводят к высоким затратам.
С проСогласно протоколам безопасности, переработке газа и передовым инженерным средствам контроля, опасности и трудности, связанные с эксимерными лазерными газами, могут быть смягчены, чтобы в полной мере использовать их уникальные и ценные возможности ультрафиолетовой генерации.
Время публикации: 08 сентября 2023 г.