Тетрафторид углерода с химической формулой CF4 представляет собой неорганический фторуглеродный газ.Он имеет тетраэдрическую молекулярную геометрию, состоящую из центрального атома углерода, окруженного четырьмя атомами фтора.Вот некоторые из примечательных физических и химических свойств CF4:
Тетрафторид углерода (CF4)стал важным газом для электронной промышленности, особенно в процессах плазменного травления и химического осаждения из паровой фазы.Благодаря высокому содержанию фтора CF4 диссоциирует на реактивные радикалы F и ионы, которые избирательно травят такие материалы, как диоксид кремния, над кремнием.Это позволяет точно наносить рисунок и придавать форму изолирующим оксидным слоям на полупроводниковых пластинах во время производства микрочипов.CF4 также полезен для очистки камер осаждения благодаря своей способности удалять стойкие кремнийсодержащие остатки.Кроме того, CF4 может избирательно травить вольфрам и титан, не удаляя при этом алюминий.Благодаря настраиваемым условиям плазмы плазма CF4 обеспечивает анизотропное травление, необходимое для поддержания вертикальных боковых стенок травленых элементов при производстве интегральных схем.
При стандартных температуре и давлении это негорючий бесцветный газ.Имеет слегка слабый эфирный запах.Умеренно растворим в органических растворителях.Он имеет высокую плотность 3,72 г/л при STP, что примерно в 3 раза тяжелее воздуха.Это один из наиболее химически и термически стабильных фторидов углерода.
CF4 остается инертным в широком диапазоне температур примерно до 500°C.Его невозможно легко сжижать, кроме как под высоким давлением.Ключевым свойством является его высокая электроотрицательность и диэлектрическая прочность, примерно в 2 раза выше, чем у воздуха.Это делает его хорошо подходящим в качестве газообразной диэлектрической среды.В целом CF4 представляет собой очень симметричный, стабильный и инерционный газ, за исключением случаев сильного нагрева или электрических разрядов.
Время публикации: 16 октября 2023 г.