Эксимерные лазерные газыобеспечивают уникальные преимущества, которые сделали эксимерные лазеры универсальным инструментом для микрообработки, медицинских процедур и передовых приложений фотолитографии.Преимущества эксимерных лазерных газов включают в себя:
- Настраиваемая длина волны. Изменение комбинации благородного галогена позволяет генерировать различные длины волн УФ-излучения, оптимизированные для конкретных целей.
- Короткие импульсы. Эксимерные лазеры излучают наносекундные импульсы, обеспечивающие чрезвычайно высокую мгновенную мощность для абляции холодного материала.
- Превосходное качество луча. Импульсы обладают превосходной когерентностью и однородностью, что обеспечивает плавную и точную обработку.
- Минимальные тепловые эффекты. Неравновесное состояние плазмы эксимерных газов обеспечивает прямой переход от газа к УФ-фотонам.
- Малый размер пятна — лучи эксимерного лазера могут быть точно сфокусированы до субмикронного диаметра пятна.
- Высокий поток фотонов. Диссоциация эксимерного газа приводит к энергичным всплескам фотонов, оптимальным для разрушения молекулярных связей.
- Работа в холодном вакууме. Криогенное охлаждение предотвращает загазованность, повышая надежность.
В тех случаях, когда другие лазеры неэффективны, только уникальные возможности мощных ультрафиолетовых лучей эксимерных лазерных газов могут способствовать ключевым промышленным и медицинским достижениям благодаря их настраиваемой и точной доставке фотонной энергии.
Время публикации: 08 сентября 2023 г.