Fluorura de argon, cu formula chimică ArF, este un gaz laser excimer popular.Laserele cu excimeri utilizează amestecuri de gaze reactive care formează molecule de excimeri de scurtă durată pentru a emite explozii de radiații laser ultraviolete.Câteva fapte cheie despre ArF:
-
Compoziție – Gazul ArF constă din 0,1% fluor și 99,9% argon echilibrat cu un gaz tampon precum neon sau heliu.
-
Lungime de undă ultravioletă – laserele ArF emit lumină coerentă la 193 nanometri, una dintre cele mai scurte lungimi de undă UVgenerate de excimeri.
-
Ieșire în impulsuri – Lasarea are loc în impulsuri de nanosecunde cu putere de vârf mare care atinge gigawați, dar ciclu de lucru scăzut.
-
Sisteme de răcire – gazul ArF trebuie să fie circulat și răcit la temperaturi criogenice în jur de -60°C pentru a permite formarea excimerului.
-
Aplicații - Lumina UV de 193 nm este utilizată pe scară largă în fotolitografie pentru fabricarea de cipuri semiconductoare și alte microprelucrări de precizie.
Cu lungimea de undă scurtă și performanța fiabilă, laserele excimer cu fluorură de argon sunt o sursă UV versatilă pentru procesarea avansată a materialelor care necesită rezoluție maximă.
Ora postării: 12-sept-2023