Proprietăți electrice și aplicații ale tetrafluorurii de carbon

Unele dintre cele mai utile atribute ale tetrafluorurii de carbon se referă la caracteristicile sale electrice și dielectrice.Când sunt supuse la câmpuri electrice puternice,CF4se descompune pentru a elibera ioni de fluor și electroni foarte reactivi.

Pe lângă aplicațiile de gravare, tetrafluorura de carbon ajută și la depunerile de pelicule subțiri la fabricarea dispozitivelor semiconductoare.Când este utilizat ca gaz precursor în sistemele de depunere chimică în vapori, fluorul se disociază ușor de CF4 permițând depunerea straturilor de dioxid de siliciu dopat cu fluor.Aceste straturi izolatoare de oxid fluorurat au constante dielectrice mai mici în comparație cu SiO2 standard, permițând semnale electrice mai rapide în microcipuri de înaltă performanță.CF4 este, de asemenea, utilizat pentru a depune straturi de polimer fluorocarbon care funcționează ca acoperiri anti-reflex pe fotoreziste în timpul procesului de litografie.Mai mult, îmbunătățirea plasmei pe bază de CF4 ajută la depunerea sticlei silicate dopate cu fluor, un izolator alternativ cu o constantă dielectrică mai mică decât silicea pură.

Mai exact, CF4 are o rezistență dielectrică excelentă de 89 kV/cm comparativ cu doar 30 kV/cm pentru aer.Această capacitate de a izola tensiuni înalte într-un spațiu compact face ca CF4 să fie ideal pentru dielectricii gazoși din generatoare, acceleratoare de particule și echipamente RF de mare putere.

În plus, CF4 afișează capabilități superbe de stingere a arcului.La arc, CF4 se disociază cu ușurință pentru a forma specii ionizate și radicale care facilitează întreruperea curentului și răcirea.Acest lucru permite CF4 să stingă rapid arcurile în întrerupătoarele și echipamentele de comutație.

Mai mult, stabilitatea termică impresionantă a CF4 îl menține gazos și nereactiv în prezența descărcărilor electrice și a temperaturilor ridicate care ar determina descompunerea altor compuși.Toate aceste calități electrice fac din tetrafluorura de carbon o componentă indispensabilă pentru a permite sisteme de alimentare compacte și eficiente.