În ciuda avantajelor lor, încorporarea gazelor laser excimer vine cu unele provocări tehnice inerente care necesită controale inginerești atente și măsuri de siguranță:
Toxicitate – Gazele halogen reactive precum fluorul și clorul au toxicități acute care necesită sisteme de manipulare a gazelor și scrubere.
- Corozivitate -Amestecuri gazoase excimersunt extrem de corozive pentru metalele comune și materialele care necesită echipamente specializate.
- Reactivitate – Reacțiile secundare pot produce produse secundare explozive, toxice sau corozive care trebuie prevenite.
- Durată de viață scurtă - Moleculele tranzitorii de excimer se degradează rapid limitând durata pulsului laser.
- Epuizare – Atomii de gaz nobil și moleculele de halogen sunt consumați în timpul funcționării, necesitând sisteme de completare sigilate.
- Criogenie – Menținerea gazelor la temperaturi criogenice necesită echipamente de refrigerare complexe și costisitoare.
- Oxidare – Impuritățile precum vaporii de apă sau oxigenul trebuie menținute sub părți pe milion pentru a evita pierderea performanței.
- Cost – Gazele nobile pure și gazele halogen, împreună cu echipamentele de precizie, duc la costuri ridicate.
Cu proconform protocoalelor de siguranță, reciclarea gazelor și controalele avansate de inginerie, pericolele și dificultățile gazelor cu laser excimer pot fi atenuate pentru a utiliza pe deplin capacitățile lor unice și valoroase de laser cu ultraviolete.
Ora postării: 08-sept-2023