Tetrafluorura de carbon, cu formula chimică CF4, este un gaz fluorocarbon anorganic.Are o geometrie moleculară tetraedrică constând dintr-un atom de carbon central înconjurat de patru atomi de fluor.Iată câteva dintre proprietățile fizice și chimice notabile ale CF4:
tetrafluorura de carbon (CF4)a devenit un gaz esențial pentru industria electronică, în special în procesele de gravare cu plasmă și depuneri chimice de vapori.Cu conținutul său ridicat de fluor, CF4 se disociază în radicali F reactivi și ioni care gravează selectiv materiale precum dioxidul de siliciu peste siliciu.Acest lucru permite modelarea și modelarea cu precizie a straturilor de oxid izolatoare pe plachete semiconductoare în timpul producției de microcip.CF4 este, de asemenea, util pentru curățarea camerelor de depunere prin capacitatea sa de a îndepărta reziduurile persistente care conțin siliciu.În plus, CF4 poate grava selectiv wolfram și titan, fără a îndepărta aluminiul.Cu condiții de plasmă reglabile, plasmele CF4 permit gravarea anizotropă esențială pentru menținerea pereților laterali verticali pe caracteristicile gravate pentru fabricarea circuitelor integrate.
La temperatura și presiunea standard, este un gaz neinflamabil, incolor.Are un miros eteric ușor slab.Este moderat solubil în solvenți organici.Are o densitate mare de 3,72 g/L la STP, de aproximativ 3 ori mai greu decât aerul.Este una dintre cele mai stabile fluoruri de carbon din punct de vedere chimic și termic.
CF4 rămâne inert într-un interval larg de temperatură până la aproximativ 500°C.Nu poate fi ușor lichefiat decât la presiuni mari.O proprietate cheie este electronegativitatea ridicată și rezistența dielectrică, de aproximativ 2 ori mai mari decât aerul.Acest lucru îl face bine potrivit ca mediu dielectric gazos.În general, CF4 este un gaz extrem de simetric, stabil și nereactiv, cu excepția prezenței încălzirii extreme sau a descărcărilor electrice.
Ora postării: 16-oct-2023