Introdução ao gás excimer laser de fluoreto de argônio
O fluoreto de argônio, com a fórmula química ArF, é um gás excimer laser popular.Os lasers excimer utilizam misturas de gases reativos que formam moléculas excimer de vida curta para emitir rajadas de radiação laser ultravioleta.Alguns fatos importantes sobre o ArF: Composição – o gás ArF consiste em 0,1% de flúor e 99,9% de argônio balanceado com um gás tampão ...
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