Fluoreto de argônio, com a fórmula química ArF, é um gás excimer laser popular.Os lasers excimer utilizam misturas de gases reativos que formam moléculas excimer de vida curta para emitir rajadas de radiação laser ultravioleta.Alguns fatos importantes sobre ArF:
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Composição – O gás ArF consiste em 0,1% de flúor e 99,9% de argônio balanceado com um gás tampão como néon ou hélio.
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Comprimento de onda ultravioleta – Os lasers ArF emitem luz coerente a 193 nanômetros, um dos comprimentos de onda UV mais curtosgerado por excímeros.
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Saída pulsada – O lasing ocorre em pulsos de nanossegundos com alta potência de pico atingindo gigawatts, mas com baixo ciclo de trabalho.
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Sistemas de resfriamento – O gás ArF deve ser circulado e resfriado a temperaturas criogênicas em torno de -60°C para permitir a formação de excimer.
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Aplicações – A luz UV de 193 nm é amplamente utilizada em fotolitografia para fabricação de chips semicondutores e outras microusinagens de precisão.
Com seu comprimento de onda curto e desempenho confiável, os lasers excimer de fluoreto de argônio são uma fonte UV versátil para processamento avançado de materiais que exigem resolução máxima.
Horário da postagem: 12 de setembro de 2023