O tetrafluoreto de carbono, com fórmula química CF4, é um gás fluorocarbono inorgânico.Possui uma geometria molecular tetraédrica que consiste em um átomo de carbono central rodeado por quatro átomos de flúor.Aqui estão algumas das propriedades físicas e químicas notáveis do CF4:
Tetrafluoreto de carbono (CF4)tornou-se um gás essencial para a indústria eletrônica, especialmente em processos de gravação a plasma e deposição química de vapor.Com seu alto teor de flúor, o CF4 se desassocia em radicais F reativos e íons que gravam seletivamente materiais como o dióxido de silício sobre o silício.Isso permite padronização e modelagem precisas das camadas de óxido isolante em wafers semicondutores durante a produção de microchips.O CF4 também é útil para limpar câmaras de deposição devido à sua capacidade de remover resíduos teimosos contendo silício.Além disso, o CF4 pode gravar seletivamente tungstênio e titânio sem remover o alumínio.Com condições de plasma ajustáveis, os plasmas CF4 permitem a gravação anisotrópica, essencial para manter as paredes laterais verticais em recursos gravados para a fabricação de circuitos integrados.
À temperatura e pressão padrão, é um gás incolor e não inflamável.Tem um odor etéreo ligeiramente fraco.É moderadamente solúvel em solventes orgânicos.Possui alta densidade de 3,72 g/L nas STP, cerca de 3 vezes mais pesado que o ar.É um dos fluoretos de carbono mais estáveis quimicamente e termicamente.
CF4 permanece inerte em uma ampla faixa de temperatura até cerca de 500°C.Não pode ser facilmente liquefeito, exceto sob altas pressões.Uma propriedade chave é a sua alta eletronegatividade e rigidez dielétrica, cerca de 2 vezes maior que a do ar.Isso o torna adequado como meio dielétrico gasoso.No geral, o CF4 é um gás altamente simétrico, estável e não reativo, exceto na presença de aquecimento extremo ou descargas elétricas.
Horário da postagem: 16 de outubro de 2023