삼염화붕소11(B11Cl3)은 상온 및 상압에서 무색의 발연가스로 가연성, 자극성, 산성 냄새가 나며, 물과 만나면 염화수소와 붕산으로 분해되어 다량의 열을 방출하고, 습한 공기에 노출되어 알코올에서 염산과 붕산염 에스테르로 분해됩니다.삼염화붕소 11은 반응성이 강하고 다양한 배위 화합물, 삼염화붕소 가열 및 유리, 세라믹과 반응을 형성할 수 있을 뿐만 아니라 많은 유기물과 반응하여 다양한 유기 붕소 화합물을 형성할 수 있습니다.고순도 삼염화붕소(11)는 (실리콘)반도체 소자 제조 공정인 확산 도핑에 주로 사용되며, 고온에서 실리콘의 확산에 의해 생성된 붕소 불순물을 분해한 후 P형 반도체를 형성하는 데 사용되지만, 또한 사용이 가능하다. Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi 및 건식 에칭과 같은 기타 재료용.