장점에도 불구하고 엑시머 레이저 가스를 통합하면 신중한 엔지니어링 제어와 안전 조치가 필요한 몇 가지 고유한 기술적 과제가 발생합니다.
독성 – 불소 및 염소와 같은 반응성 할로겐 가스는 가스 처리 시스템과 세정기가 필요한 급성 독성을 가지고 있습니다.
- 부식성 –엑시머 가스 혼합물특수 장비가 필요한 일반 금속 및 재료에 대해 부식성이 매우 높습니다.
- 반응성 – 부반응은 예방해야 하는 폭발성, 독성 또는 부식성 부산물을 생성할 수 있습니다.
- 짧은 수명 – 일시적인 엑시머 분자가 빠르게 붕괴되어 레이저 펄스 지속 시간이 제한됩니다.
- 고갈 – 밀봉된 보충 시스템이 필요한 작동 중에 희가스 원자와 할로겐 분자가 소비됩니다.
- 극저온 – 가스를 극저온으로 유지하려면 복잡하고 값비싼 냉동 장비가 필요합니다.
- 산화 – 성능 손실을 방지하려면 수증기나 산소와 같은 불순물을 백만분의 일 미만으로 유지해야 합니다.
- 비용 – 정밀 장비와 함께 순수한 비활성 가스 및 할로겐 가스는 높은 비용을 초래합니다.
프로와 함께안전 프로토콜, 가스 재활용 및 고급 엔지니어링 제어에 따라 엑시머 레이저 가스의 위험과 어려움을 완화하여 독특하고 귀중한 자외선 레이저 기능을 최대한 활용할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 9월 8일