화학식 CF4를 갖는 사불화탄소는 무기 불화탄소 가스입니다.이는 4개의 불소 원자로 둘러싸인 중앙 탄소 원자로 구성된 사면체 분자 구조를 가지고 있습니다.CF4의 주목할만한 물리적, 화학적 특성은 다음과 같습니다.
사불화탄소(CF4)전자 산업, 특히 플라즈마 에칭 및 화학 기상 증착 공정에서 필수적인 가스가 되었습니다.불소 함량이 높은 CF4는 반응성 F 라디칼과 이온으로 분리되어 실리콘 위에 이산화규소와 같은 물질을 선택적으로 에칭합니다.이를 통해 마이크로칩 생산 중 반도체 웨이퍼의 절연 산화물 층을 정밀하게 패터닝하고 성형할 수 있습니다.CF4는 잘 지워지지 않는 실리콘 함유 잔류물을 제거하는 능력을 통해 증착 챔버를 청소하는 데에도 유용합니다.또한 CF4는 알루미늄을 제거하지 않으면서 텅스텐과 티타늄을 선택적으로 에칭할 수 있습니다.조정 가능한 플라즈마 조건을 통해 CF4 플라즈마는 집적 회로 제조를 위해 에칭된 형상의 수직 측벽을 유지하는 데 필수적인 이방성 에칭을 가능하게 합니다.
표준 온도 및 압력에서 불연성, 무색 가스입니다.약간 희미한 천상의 냄새가 있습니다.유기용매에 적당히 용해됩니다.STP 기준 밀도는 3.72g/L로 공기보다 약 3배 무겁습니다.화학적으로나 열적으로 가장 안정적인 불화탄소 중 하나입니다.
CF4는 최대 약 500°C의 넓은 온도 범위에서 비활성 상태를 유지합니다.고압을 제외하고는 쉽게 액화될 수 없습니다.주요 특성은 공기보다 약 2배 더 높은 높은 전기 음성도와 유전 강도입니다.이는 기체 유전체 매체로 매우 적합합니다.전반적으로 CF4는 극도의 가열이나 전기 방전이 있는 경우를 제외하고 고도로 대칭적이고 안정적이며 비반응성 가스입니다.
게시 시간: 2023년 10월 16일