엑시플렉스 가스라고도 알려진 엑시머 레이저 가스는 엑시머 레이저의 레이저 매체로 사용됩니다.이는 수명이 짧은 엑시머 분자 또는 이합체의 형성 및 붕괴를 통해 고강도 자외선 레이저 빔을 방출할 수 있습니다.다음은 의 몇 가지 주요 기능입니다.엑시머 가스:
- 구성 – 아르곤이나 크립톤과 같은 비활성 가스와 반응성 할로겐 가스(보통 불소 또는 염소)가 혼합되어 구성됩니다.널리 사용되는 조합은 ArF와 KrF입니다.
- 엑시머 형성 - 비활성 가스 원자와 할로겐 가스는 전기 자극에 따라 일시적으로 결합하여 빠르게 붕괴되는 여기 상태의 이합체인 엑시머를 형성합니다.
- UV 방출 – 이 붕괴 과정은 자외선 범위의 광자를 방출합니다.다양한 가스 혼합물은 다양한 응용 분야에 적합한 다양한 UV 파장을 방출합니다.
- 펄스 출력 – 엑시머 레이저는 나노초의 매우 짧은 펄스 지속 시간과 메가와트의 높은 피크 출력을 갖는 펄스 빔을 생성합니다.
- 냉각 시스템 – 가스는 폐쇄 순환 시스템에 통합되고 극저온으로 냉각되어 엑시머 반응이 가능해집니다.
엑시머 레이저 가스의 고유한 특성, 특히 강력한 자외선 레이저 광을 생성하는 능력은 강력한 UV 광원이 필요한 다양한 기술 및 산업 공정에 유용합니다.
게시 시간: 2023년 9월 8일