四フッ化炭素 (CF4) は、主に半導体産業でエッチング剤として使用される無色無臭のガスです。1 つの炭素原子と 4 つのフッ素原子で構成され、分子量は 88.004 g/mol です。CF4 は不燃性、非毒性、化学的に不活性であるため、産業用途に望ましい選択肢となります。また、冷媒の製造や高電圧電気機器の誘電ガスとしても使用されます。しかし、CF4 は強力な温室効果ガスであり、地球温暖化係数は二酸化炭素の 7,000 倍です。そのため、その使用と排出は、温室効果ガスの排出削減と気候変動の緩和を目的とした国際環境協定に基づいて規制されています。