ニュース
業界ニュースをさらに詳しく見る
ニュースセンター
フッ化アルゴンエキシマレーザーの将来展望
1970 年代に初めて開発されたフッ化アルゴン エキシマ レーザーは、その独特な 193 ナノメートルの波長出力により、その役割を拡大し続けています。ArFテクノロジーの将来はどうなるでしょうか?次世代リソグラフィ – ArF レーザーにより、10 ナノメートル未満のノードの半導体製造のさらなる小型化が可能になると期待されています。
もっと見る
フォトリソグラフィーにおけるフッ化アルゴンの役割
フッ化アルゴン (ArF) エキシマ レーザーの最も重要な用途の 1 つは、半導体集積回路製造時のフォトリソグラフィーです。ArF レーザーの 193 ナノメートルの波長により、チップ コンポーネントのサイズが縮小するにつれて、より高いパターニング精度が可能になります。より高い解像度 – UV 波長が短いため、回路を小さくできます...
もっと見る
フッ化アルゴンエキシマレーザーの仕組み
フッ化アルゴンまたは ArF エキシマ レーザーは、ArF ガス混合物の独特の特性を利用して、正確な 193 ナノメートルの紫外線レーザー ビームを生成します。ここでは、レーザー発振プロセスを詳しく見ていきます。 ガス放電 – ArF ガスに高電圧放電を適用すると、自由電子とアルゴン イオンが生成されます。エキシマフォーマ...
もっと見る
フッ化アルゴンエキシマレーザーガスの紹介
化学式 ArF を持つフッ化アルゴンは、エキシマ レーザーのガスとしてよく使用されます。エキシマ レーザーは、短寿命のエキシマ分子を形成する反応性ガス混合物を利用して、紫外線レーザー放射のバーストを放射します。ArF に関する重要な事実: 組成 - ArF ガスは、0.1% のフッ素と 99.9% のアルゴンで構成され、バッファーガスとバランスが取れています。
もっと見る
KrF レーザーガス: 高度な精度と効率性の鍵
KrF レーザー ガス (フッ化クリプトン レーザー ガス) は、その卓越した精度と効率により、工業生産と研究の世界に革命をもたらしています。この強力な紫外線レーザー技術は近年大幅な進歩を遂げ、さまざまな用途で前例のない機能を提供しています。で ...
もっと見る
ネオン: 希ガス
ネオンは、元素の周期表にある希ガスの 1 つで、ネオンの光で赤からオレンジに輝くことで有名です。これは、広告や看板の製作から医療や研究の分野でのより科学的な用途に至るまで、ユニークな特性と複数の用途を備えた魅力的な要素です。...
もっと見る
クリプトンガス: 産業を変える目に見えない力 ...
はじめに: 化学記号 Kr を持つ希ガスであるクリプトン ガスは、無色、無臭、無味のガスであり、さまざまな業界での数多くの用途で注目を集めています。クリプトンガスは反応性が低く、安定性が高いため、多くの最先端技術において不可欠な成分となっています。
もっと見る