オクタフルオロシクロブタンの用途

   オクタフルオロシクロブタン (C4F8)は完全にフッ素化されたシクロブタン誘導体であり、その特有の特性を利用してさまざまな特殊な産業用途に使用されます。

• 誘電絶縁体 – 高い絶縁耐力と消弧能力を備えた C4F8 は、高電圧電気機器の絶縁と保護に最適です。
• プラズマ エッチング – 半導体業界では、マイクロチップ製造プロセス中にプラズマ エッチングおよびリアクターの洗浄用のフィード ガスとして C4F8 を使用しています。
• チャンバーのクリーニング – CVD や PVD ​​に使用される蒸着チャンバー内の堆積物は、C4F8 プラズマ クリーニングによって除去できます。
• 光ファイバー – C4F8 は、フッ素ドープのクラッド ガラス層を堆積するための低損失光ファイバーの製造におけるプロセス ガスとして使用されます。

• ポリマー合成 – C4F8 は、フリーラジカルを捕捉し、鎖の成長を制限することにより、重合反応の制御と特殊フッ素ポリマーの合成を支援します。
• トレーサーガス – C4F8 は検出能力が高く、毒性が低いため、リークテストやその他の診断用途のガス状トレーサーとして適しています。
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オクタフルオロシクロブタンは、化学的および熱的安定性と誘電特性およびエッチング特性の組み合わせにより、特にエレクトロニクス製造においてニッチながら重要な役割を果たしています。