六フッ化硫黄ガスの用途

   六フッ化硫黄(SF6)ガスは、送電、産業インフラ、家庭用電化製品で使用される高出力電気システムを可能にし、絶縁するために不可欠なツールとなっています。主な用途には次のようなものがあります。

• サーキットブレーカーのアーククエンチング – SF6 により、アーク損傷を制限し、回路を再接続するコンパクトな遮断器が可能になります。

• 開閉装置の絶縁 – 優れた絶縁耐力により、電圧制御装置用の SF6 充填エンクロージャが可能になります。

• 変圧器内の冷却 – 熱安定性とガス密度により、高電圧変圧器に効果的な冷却を提供します。

• 半導体製造におけるエッチングと洗浄 – SF6 プラズマはシリコンを選択的にエッチングし、フッ素をドープした酸化物を堆積します。

• 密閉システムでの漏れ検出 – 少量の SF6 ガスを注入して、機器の漏れを発見したり、故障箇所を特定したりできます。

• 高電圧実験室研究 – SF6 はその絶縁特性と不燃性により、さまざまな特殊な電気実験を容易にします。

この安定性の高いフッ化硫黄化合物のユニークな特性により、その用途は幅広い分野、特に電力システム工学で拡大し続けています。