四フッ化炭素の新たな用途と応用

その間四フッ化炭素誘電体ガスおよびプラズマ エッチング剤としての用途は確立されていますが、新たな用途では引き続きその独特の特性を利用しています。

• フルオロポリマー合成用の前駆体 – CF4 プラズマは保護フルオロカーボン ポリマー フィルムおよび粉末の堆積を支援します

• 核燃料変換 – CF4 はウラン濃縮用の六フッ化ウランを生成できる

• 半導体洗浄 – CF4 プラズマにより二酸化ケイ素とフォトレジスト残留物を除去

• トレーサーガス – 非常に低濃度の漏れや流れのパターンを検出するために使用されます。

• レンズ表面改質 – CF4 処理により光学レンズの疎水性が向上

• 粒子加速器の冷却 – 優れた熱容量が超電導セクションの冷却に CF4 に適しています

• マイナスイオンビーム – デュオプラズマトロンへのCF4の注入によりマイナスイオン電流出力が強化される

極めて化学的安定性が高い CF4 の容易に解離する性質と組み合わされた多用途の組み合わせが提供され、研究者は科学および産業分野にわたる新たな用途を発見し続けています。