エキシマレーザーガスを扱う際の課題

エキシマ レーザー ガスの導入には、その利点にもかかわらず、慎重なエンジニアリング制御と安全対策を必要とするいくつかの固有の技術的課題が伴います。

毒性 – フッ素や塩素などの反応性ハロゲンガスには急性毒性があり、ガス処理システムやスクラバーが必要です。

• 腐食性 –エキシマガス混合物一般的な金属や材料に対して非常に腐食性が高く、特殊な装置が必要です。
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• 反応性 – 副反応により、爆発性、有毒性、または腐食性の副産物が生成される可能性があるため、防止する必要があります。
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• 寿命が短い – 一時的なエキシマ分子は急速に減衰し、レーザーのパルス持続時間が制限されます。
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• 消耗 – 希ガス原子とハロゲン分子は動作中に消費され、密閉された補充システムが必要になります。
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• 極低温 – ガスを極低温に維持するには、複雑で高価な冷凍装置が必要です。
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• 酸化 – 性能の低下を避けるために、水蒸気や酸素などの不純物を百万分率以下に保つ必要があります。
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• コスト – 純粋な希ガスおよびハロゲンガスと精密機器を使用すると、コストが高くなります。

プロ付き安全プロトコル、ガスのリサイクル、高度なエンジニアリング制御に従って、エキシマ レーザー ガスの危険性と困難を軽減して、その独特で貴重な紫外線レーザー機能を最大限に活用することができます。