エキシマレーザーガスの応用

エキシマ レーザー ガスは、高エネルギー紫外レーザー光の正確な照射を必要とする幅広い産業、医療、科学用途を切り開いたエキシマ レーザーの重要な活性媒体です。エキシマ レーザー ガスの用途には次のようなものがあります。

• レーザー眼科手術 –ArFエキシマレーザーレーシック眼科手術などの屈折矯正手術で角膜組織の顕微鏡層を切除するために使用されます。
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• 半導体製造 - KrF および ArF エキシマ レーザーは、シリコン チップ上に回路パターンをエッチングするためのフォトリソグラフィーに不可欠です。
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• 材料加工 - 強力なエキシマ レーザー ビームにより、金属、ポリマー、セラミックをきれいに切断、穴あけ、微細加工できます。
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• レーザー血管形成術 – XeCl エキシマ レーザーは、光ファイバー カテーテルを介して閉塞した動脈を除去し、侵襲的な手術を最小限に抑えます。
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• 光化学 – エキシマ レーザーは、熱影響を与えることなく分子結合を選択的に切断できるため、光化学合成ルートに最適です。
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• 分光法 – 短波長エキシマ レーザー パルスは、生物学的サンプル、有機サンプル、および無機サンプルの分析のために蛍光を誘発できます。
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• 研究 – 高度なエキシマ レーザーの応用は、光学、フォトニクス、核融合、粒子加速などの分野で研究されています。
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エキシマ媒体によって生成される調整可能な高エネルギー紫外線ビームは、さまざまな分野での精密微細加工や光化学を可能にしました。その多くの用途は拡大し続けています。