製品

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  • 三塩化ホウ素 BCL3 GAS
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三塩化ホウ素 BCL3 GAS

プロセス :

三塩化ホウ素 (BCL3) は、無色の発煙性液体または気体です。非引火性、刺激性、酸性の臭気があります。三塩化ホウ素 (BCl3) は蒸気圧の低いガスです。この分子は、半導体や液晶ディスプレイの製造におけるアルミニウム配線に使用されるエッチングガスの乾燥など、幅広い用途に使用できます。三塩化ホウ素は、水中で塩化水素とホウ酸に分解する液化ガスです。これは、High-K および金属異方性プラズマ エッチング、原子層エッチング、およびパルス プラズマ エッチングにおける主なガス成分です。BCL3ガスは主に液晶パネルの製造工程におけるアルミ回路の微細エッチングにも使用されます。

概要

梱包と配送

製品の詳細

関連製品

製品パラメータ

製品

三塩化ホウ素

CAS番号

10294-34-5

国連番号

1741年

アイネックスNo.

233-658-4

分子量

117.19

外観

刺激的で酸味のある無色の発煙性の液体または気体

融点

-107.3℃

沸点

12.5℃

密度

1.35kg/m3

DOTクラス

2.3 & 8

ラベル

有毒ガス、腐食性物質

製品仕様書

製品 三塩化ホウ素BCl3
小包のサイズ 47Ltrシリンダー
充填内容/シリンダー 50kg
20'コンテナに積まれた数量 240 シリンダー
全容積 12トン
シリンダー風袋重量 55kg
バルブ DISS-634/CGA660

アプリケーションプログラム

三塩化ホウ素 (BCl3) は、さまざまな工業プロセスで使用される多用途の化合物です。有機合成反応、特にプラスチックや樹脂の製造における触媒として一般的に使用されます。BCl3 は、半導体産業においてシリコン ウェーハにホウ素を導入するためのドーピング剤としても使用され、これにより電気的特性が向上します。さらに、BCl3 は、熱的および化学的安定性の高い材料である窒化ホウ素の薄膜を堆積するための化学蒸着プロセスの試薬として使用されます。ただし、BCl3 は反応性が高いため、実験室では細心の注意を払って取り扱う必要があります。
三塩化ホウ素は重要な触媒です

三塩化ホウ素は重要な触媒です

三塩化ホウ素は電気めっきに使用できます

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三塩化ホウ素は木材の保存処理に使用可能

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三塩化ホウ素は洗浄剤として使用できます

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三塩化ホウ素は他の無機化合物の調製に使用できます

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三塩化ホウ素は一部の医薬品の製造に使用できます

三塩化ホウ素は一部の医薬品の製造に使用できます

梱包と配送

製品:

三塩化ホウ素

小包のサイズ

10Ltrシリンダー

47Lシリンダー

充填正味重量/シリンダー:

10kg

50kg

純度

5N、5.5N、6N

バルブ:

CGA660/DISS634

利点

製品の詳細

bcl3

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