Fluoruro di argon, con la formula chimica ArF, è un popolare gas laser ad eccimeri.I laser ad eccimeri utilizzano miscele di gas reattivi che formano molecole di eccimeri di breve durata per emettere esplosioni di radiazioni laser ultraviolette.Alcuni fatti chiave sull’ArF:
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Composizione – Il gas ArF è costituito da 0,1% di fluoro e 99,9% di argon bilanciati con un gas tampone come neon o elio.
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Lunghezza d’onda ultravioletta – I laser ArF emettono luce coerente a 193 nanometri, una delle lunghezze d’onda UV più cortegenerati dagli eccimeri.
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Uscita pulsata: l'effetto laser avviene in impulsi di nanosecondi con un'elevata potenza di picco che raggiunge i gigawatt ma un ciclo di lavoro basso.
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Sistemi di raffreddamento – Il gas ArF deve essere fatto circolare e raffreddato a temperature criogeniche intorno a -60°C per consentire la formazione di eccimeri.
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Applicazioni – La luce UV da 193 nm è ampiamente utilizzata nella fotolitografia per la produzione di chip semiconduttori e altre microlavorazioni di precisione.
Grazie alla lunghezza d'onda corta e alle prestazioni affidabili, i laser ad eccimeri al fluoruro di argon sono una sorgente UV versatile per la lavorazione avanzata dei materiali che richiedono la massima risoluzione.
Orario di pubblicazione: 12 settembre 2023