Il tetrafluoruro di carbonio, con la formula chimica CF4, è un gas fluorocarburico inorganico.Ha una geometria molecolare tetraedrica costituita da un atomo di carbonio centrale circondato da quattro atomi di fluoro.Ecco alcune delle notevoli proprietà fisiche e chimiche del CF4:
Tetrafluoruro di carbonio (CF4)è diventato un gas essenziale per l'industria elettronica, in particolare nei processi di attacco al plasma e di deposizione di vapori chimici.Con il suo alto contenuto di fluoro, CF4 si dissocia in radicali F reattivi e ioni che attaccano selettivamente materiali come il biossido di silicio sul silicio.Ciò consente la modellazione e la modellatura di precisione degli strati di ossido isolante sui wafer semiconduttori durante la produzione di microchip.CF4 è utile anche per pulire le camere di deposizione grazie alla sua capacità di rimuovere residui ostinati contenenti silicio.Inoltre, CF4 può incidere selettivamente tungsteno e titanio senza rimuovere l'alluminio.Grazie alle condizioni del plasma regolabili, i plasmi CF4 consentono l'attacco anisotropo essenziale per mantenere le pareti laterali verticali sulle caratteristiche incise per la produzione di circuiti integrati.
A temperatura e pressione standard è un gas non infiammabile e incolore.Ha un odore etereo leggermente debole.È moderatamente solubile nei solventi organici.Ha un'elevata densità di 3,72 g/L a STP, circa 3 volte più pesante dell'aria.È uno dei fluoruri di carbonio più chimicamente e termicamente stabili.
Il CF4 rimane inerte in un ampio intervallo di temperature fino a circa 500°C.Non può essere facilmente liquefatto se non sotto alte pressioni.Una proprietà chiave è la sua elevata elettronegatività e rigidità dielettrica, circa 2 volte superiore a quella dell'aria.Ciò lo rende adatto come mezzo dielettrico gassoso.Nel complesso, il CF4 è un gas altamente simmetrico, stabile e non reattivo, tranne in presenza di riscaldamento estremo o scariche elettriche.
Orario di pubblicazione: 16 ottobre 2023