Gaz trifluorure d'azote NF3

Le trifluorure d'azote, ou NF3, est un gaz incolore et inodore qui a plusieurs applications industrielles.Il est principalement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs comme agent de nettoyage pour les outils de dépôt et les chambres de gravure.Il est également utilisé dans la production d’écrans plats, de panneaux solaires et d’autres appareils électroniques.Cependant, le NF3 est un puissant gaz à effet de serre doté d’un fort potentiel de réchauffement planétaire, ce qui signifie qu’il peut contribuer de manière significative au changement climatique s’il est rejeté dans l’atmosphère.Des efforts sont donc déployés pour réduire son utilisation et trouver des substances alternatives plus respectueuses de l’environnement pour ces applications.