Fluorure d'argon, de formule chimique ArF, est un gaz laser excimer populaire.Les lasers excimer utilisent des mélanges de gaz réactifs qui forment des molécules excimer de courte durée pour émettre des éclats de rayonnement laser ultraviolet.Quelques faits clés sur ArF :
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Composition – Le gaz ArF est composé de 0,1 % de fluor et de 99,9 % d'argon équilibré avec un gaz tampon comme le néon ou l'hélium.
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Longueur d'onde ultraviolette – Les lasers ArF émettent une lumière cohérente à 193 nanomètres, l'une des longueurs d'onde UV les plus courtesgénérés par les excimères.
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Sortie pulsée – L'émission laser se produit par impulsions nanosecondes avec une puissance de crête élevée atteignant des gigawatts mais un faible cycle de service.
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Systèmes de refroidissement – Le gaz ArF doit circuler et être refroidi à des températures cryogéniques d'environ -60 °C pour permettre la formation d'excimères.
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Applications – La lumière UV de 193 nm est largement utilisée en photolithographie pour la fabrication de puces semi-conductrices et d’autres micro-usinages de précision.
Avec leur courte longueur d'onde et leurs performances fiables, les lasers excimer au fluorure d'argon constituent une source UV polyvalente pour le traitement avancé des matériaux nécessitant une résolution maximale.
Heure de publication : 12 septembre 2023