Certaines des propriétés les plus utiles du tétrafluorure de carbone sont liées à ses caractéristiques électriques et diélectriques.Lorsqu'il est soumis à des champs électriques puissants,CF4se décompose pour libérer des ions fluorure et des électrons hautement réactifs.
En plus des applications de gravure, le tétrafluorure de carbone facilite également les dépôts de couches minces dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.Lorsqu'il est utilisé comme gaz précurseur dans les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur, le fluor se dissocie facilement du CF4, permettant le dépôt de couches de dioxyde de silicium dopées au fluor.Ces couches isolantes en oxyde fluoré ont des constantes diélectriques inférieures à celles du SiO2 standard, permettant des signaux électriques plus rapides dans les micropuces hautes performances.Le CF4 est également utilisé pour déposer des couches de polymère fluorocarboné qui fonctionnent comme des revêtements antireflet sur les photorésists pendant le processus de lithographie.De plus, l'amélioration du plasma à base de CF4 facilite le dépôt de verre de silicate dopé au fluor, un isolant alternatif avec une constante diélectrique inférieure à celle de la silice pure.
Plus précisément, le CF4 présente une excellente rigidité diélectrique de 89 kV/cm contre seulement 30 kV/cm pour l'air.Cette capacité à isoler des tensions élevées dans un espace compact rend le CF4 idéal pour les diélectriques gazeux dans les générateurs, les accélérateurs de particules et les équipements RF haute puissance.
De plus, le CF4 affiche de superbes capacités d'extinction d'arc.Lors de l'arc, le CF4 se dissocie facilement pour former des espèces ionisées et radicalaires qui facilitent l'interruption et le refroidissement du courant.Cela permet au CF4 d'éteindre rapidement les arcs dans les disjoncteurs et les équipements de commutation.
De plus, l’impressionnante stabilité thermique du CF4 le maintient gazeux et non réactif en présence de décharges électriques et de températures élevées qui entraîneraient la décomposition d’autres composés.Toutes ces qualités électriques font du tétrafluorure de carbone un composant indispensable pour permettre la mise en place de systèmes électriques compacts et efficaces.
Heure de publication : 16 octobre 2023