Malgré leurs avantages, l’incorporation de gaz laser excimer s’accompagne de certains défis techniques inhérents nécessitant des contrôles techniques et des mesures de sécurité minutieux :
Toxicité – Les gaz halogènes réactifs comme le fluor et le chlore présentent des toxicités aiguës nécessitant des systèmes de traitement des gaz et des épurateurs.
- Corrosivité –Mélanges de gaz excimersont extrêmement corrosifs pour les métaux courants et les matériaux nécessitant un équipement spécialisé.
- Réactivité – Les réactions secondaires peuvent produire des sous-produits explosifs, toxiques ou corrosifs qui doivent être évités.
- Durée de vie courte – Les molécules excimères transitoires se désintègrent rapidement, limitant la durée de l'impulsion laser.
- Épuisement – Des atomes de gaz nobles et des molécules d'halogène sont consommés pendant le fonctionnement nécessitant des systèmes de réapprovisionnement scellés.
- Cryogénie – Le maintien des gaz à des températures cryogéniques nécessite des équipements de réfrigération complexes et coûteux.
- Oxydation – Les impuretés comme la vapeur d’eau ou l’oxygène doivent être maintenues en dessous des parties par million pour éviter une perte de performances.
- Coût – Les gaz rares purs et les gaz halogènes ainsi que les équipements de précision entraînent des coûts élevés.
Avec proGrâce aux protocoles de sécurité, au recyclage des gaz et aux contrôles techniques avancés, les dangers et les difficultés des gaz laser excimer peuvent être atténués pour utiliser pleinement leurs capacités laser ultraviolettes uniques et précieuses.
Heure de publication : 08 septembre 2023