Les gaz laser excimer, également appelés gaz exciplex, sont utilisés comme milieu laser dans les lasers excimer.Ils sont capables d'émettre des faisceaux laser ultraviolets de haute intensité grâce à la formation et à la désintégration de molécules excimères ou de dimères à courte durée de vie.Voici quelques caractéristiques clés degaz excimer:
- Composition – Ils sont constitués d'un gaz rare comme l'argon ou le krypton mélangé à un gaz halogène réactif, généralement du fluor ou du chlore.Les combinaisons populaires sont ArF et KrF.
- Formation d'excimère – L'atome de gaz rare et le gaz halogène se lient temporairement lors d'une stimulation électrique pour former l'excimère, un dimère dans un état excité qui se désintègre rapidement.
- Émission UV – Ce processus de désintégration libère un photon dans la gamme ultraviolette.Différents mélanges de gaz émettent différentes longueurs d'onde UV adaptées à diverses applications.
- Sortie pulsée – Les lasers Excimer produisent des faisceaux pulsés avec des durées d'impulsion très courtes de l'ordre de la nanoseconde et des puissances de crête élevées de l'ordre du mégawatt.
- Systèmes de refroidissement – Les gaz sont incorporés dans des systèmes à circulation fermée et refroidis à des températures cryogéniques pour permettre la réaction excimère.
Les propriétés uniques des gaz laser excimer, en particulier leur capacité à générer une puissante lumière laser ultraviolette, les rendent utiles dans divers processus technologiques et industriels nécessitant de fortes sources UV.
Heure de publication : 08 septembre 2023