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Une introduction aux gaz laser Excimer

Les gaz laser excimer, également appelés gaz exciplex, sont utilisés comme milieu laser dans les lasers excimer.Ils sont capables d'émettre des faisceaux laser ultraviolets de haute intensité grâce à la formation et à la désintégration de molécules excimères ou de dimères à courte durée de vie.Voici quelques caractéristiques clés degaz excimer:

 

 

  • Composition – Ils sont constitués d'un gaz rare comme l'argon ou le krypton mélangé à un gaz halogène réactif, généralement du fluor ou du chlore.Les combinaisons populaires sont ArF et KrF.
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  • Formation d'excimère – L'atome de gaz rare et le gaz halogène se lient temporairement lors d'une stimulation électrique pour former l'excimère, un dimère dans un état excité qui se désintègre rapidement.
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  • Émission UV – Ce processus de désintégration libère un photon dans la gamme ultraviolette.Différents mélanges de gaz émettent différentes longueurs d'onde UV adaptées à diverses applications.
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  • Sortie pulsée – Les lasers Excimer produisent des faisceaux pulsés avec des durées d'impulsion très courtes de l'ordre de la nanoseconde et des puissances de crête élevées de l'ordre du mégawatt.
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  • Systèmes de refroidissement – ​​Les gaz sont incorporés dans des systèmes à circulation fermée et refroidis à des températures cryogéniques pour permettre la réaction excimère.

 

 

Les propriétés uniques des gaz laser excimer, en particulier leur capacité à générer une puissante lumière laser ultraviolette, les rendent utiles dans divers processus technologiques et industriels nécessitant de fortes sources UV.


Heure de publication : 08 septembre 2023