مخلوط های گاز لیزر اکسایمر محبوب

تنوع وجود داردگاز لیزر اگزایمرترکیبات مورد استفاده صنعتی و علمی بسته به طول موج فرابنفش مورد نظر و سطح انرژی پالس.برخی از رایج ترین و مفیدترین مخلوط ها عبارتند از:

• KrF (فلوراید کریپتون) - تولید 248 نانومتر UV محبوب در لیتوگرافی مدار مجتمع.راندمان بالا و کیفیت پرتو.
• ArF (آرگون فلوراید) - نور ماوراء بنفش 193 نانومتری را برای ساخت نیمه هادی های پیشرفته ایده آل ارائه می دهد.انرژی پالس کمتر
• XeCl (کلرید زنون) - 308 نانومتر UV با انرژی پالس بالا که در آنژیوپلاستی لیزری استفاده می شود، ساطع می کند.
•  
• XeF (فلوراید زنون) – خروجی 351 نانومتر UV مناسب برای معرف های فلوئوراسیون پالسی.پالس های انرژی بسیار بالا.
•  
• F2 (فلوئور) - گاز فلوئور خالص تابش 157 نانومتر خلاء UV تولید می کند که یکی از کوتاه ترین طول موج ها است.
•  
• KrCl (کریپتون کلرید) - انتشار 222 نانومتر بهینه شده برای روش های جراحی چشم.فرسایش بافتی دقیق تر
•  
• ArCl (آرگون کلرید) - 175 نانومتر UV مناسب برای کاربردهای طیف سنجی UV عمیق برای تحقیقات.
•  
• KrBr (کریپتون برمید) - محیط اکسایمر 206 نانومتری با پایداری نوری افزایش یافته بهترین برای مصارف صنعتی.
•  

انتخاب مخلوط گاز لیزر اگزایمر بهینه به نیازهای کاربرد خاص برای انرژی پالس، پایداری و دقت طول موج فرابنفش بستگی دارد.رسانه گاز صحیح عملکرد لیزرهای اگزایمر را به حداکثر می رساند.