مقدمه ای بر گاز لیزر اگزایمر فلوراید آرگون

    آرگون فلورایدبا فرمول شیمیایی ArF، یک گاز لیزر اکسایمر محبوب است.لیزرهای اگزایمر از مخلوط‌های گاز واکنشی استفاده می‌کنند که مولکول‌های اکسایمر کوتاه‌مدت را تشکیل می‌دهند تا انفجارهای پرتوهای لیزر فرابنفش را ساطع کنند.برخی از حقایق کلیدی در مورد ArF:

• ترکیب - گاز ArF از 0.1٪ فلوئور و 99.9٪ آرگون تشکیل شده است که با گاز بافری مانند نئون یا هلیوم متعادل شده است.

• طول موج فرابنفش - لیزرهای ArF نور منسجمی با 193 نانومتر ساطع می‌کنند که یکی از کوتاه‌ترین طول موج‌های UV است.تولید شده توسط اگزایمرها

• خروجی پالسی - لیزر در پالس‌های نانوثانیه‌ای با حداکثر توان بالا که به گیگاوات می‌رسد اما چرخه کاری کم رخ می‌دهد.

• سیستم‌های خنک‌کننده - گاز ArF باید به گردش درآید و تا دمای برودتی در حدود -60 درجه سانتیگراد خنک شود تا امکان تشکیل اگزایمر فراهم شود.

• کاربردها - نور UV 193 نانومتری به طور گسترده در فتولیتوگرافی برای تولید تراشه های نیمه هادی و سایر ریزماشینکاری های دقیق استفاده می شود.

لیزرهای اگزایمر فلوراید آرگون با طول موج کوتاه و عملکرد قابل اعتماد خود یک منبع UV همه کاره برای پردازش مواد پیشرفته هستند که به حداکثر وضوح نیاز دارند.