لیزرهای اکسایمر فلوراید آرگون چگونه کار می کنند

راآرگون فلورایدیا لیزر اگزایمر ArF بر خواص منحصر به فرد مخلوط گاز ArF برای تولید پرتو لیزر فرابنفش دقیق 193 نانومتری متکی است.در اینجا نگاهی دقیق تر به فرآیند لیزینگ آورده شده است:

• تخلیه گاز - اعمال یک تخلیه الکتریکی با ولتاژ بالا به گاز ArF باعث ایجاد الکترون های آزاد و یون های آرگون می شود.

• تشکیل اگزایمر - اتم‌های آرگون و مولکول‌های فلوئور به هم متصل می‌شوند تا مولکول‌های اگزایمر را در حالت‌های برانگیخته کوتاه مدت تشکیل دهند.

• Emiss تحریک شدهیون - اگزایمرها به سرعت به اتم‌های بی‌پیوند تجزیه می‌شوند و فوتون‌ها آزاد می‌شوند و باعث آزاد شدن فوتون‌های بیشتری می‌شوند.

• حفره نوری - نور ماوراء بنفش ساطع شده بین آینه عقب و آینه جلوی جزئی منعکس می شود و باعث انتشار بیشتر نور می شود.

• پالس‌های نانوثانیه - ماهیت غیرتعادلی واکنش اکسایمر، مدت زمان پالس را به نانوثانیه‌ها با سطوح اوج توان مگاواتی محدود می‌کند.

• تحویل پرتو - پرتو خروجی بر روی سطح هدف توسط اجزای نوری دقیق متمرکز و اسکن می شود.

از طریق این فرآیند، حالت اگزایمر گذرا در گاز فلوراید آرگون می تواند به طور موثر پالس های فرابنفش 193 نانومتری با انرژی بالا را برای کاربردهای ریز ماشینکاری که نیاز به حداکثر دقت دارند، تولید کند.