چشم انداز آینده برای لیزرهای اکسایمر فلوراید آرگون

لیزرهای اگزایمر فلوراید آرگون برای اولین بار در دهه 1970 توسعه یافتند و با توجه به طول موج 193 نانومتری خروجی منحصر به فرد خود، همچنان نقش های در حال گسترش را ایفا می کنند.آینده فناوری ArF چیست؟

• لیتوگرافی نسل بعدی -لیزرهای ArFانتظار می رود کوچک سازی بیشتر تا ساخت نیمه هادی های زیر 10 نانومتری را امکان پذیر کند.

• بهبود کنترل پالس - پیشرفت در مدولاسیون و شکل دهی پالس منجر به دقت پردازش بیشتر برای مواد ظریف می شود.

• توان های متوسط ​​بالاتر - طرح های جدید اتاق گاز نرخ تکرار بالاتر و توان متوسط ​​پرتو را امکان پذیر می کند.

• سیستم‌های رومیزی – واحدهای لیزر ArF فشرده‌تر و مقرون به صرفه‌تر منجر به پذیرش گسترده‌تر فراتر از امکانات تخصصی می‌شوند.

• کاربردهای جدید - طول موج 193 نانومتر کاربردهای بالقوه ای در استریل کردن، مطالعات فلورسانس، جراحی نانو و چاپ سه بعدی دارد.

• بازیافت گاز - Cبازیابی حلقه از دست رفته و تمیز کردن مخلوط‌های گازی ArF عملکرد را مقرون به صرفه‌تر و سازگار با محیط زیست می‌کند.

حتی پس از بیش از 40 سال توسعه، محیط لیزر اکسایمر نوآورانه از آرگون فلوراید همچنان به ارائه یک منبع نور ماوراء بنفش عمیق ادامه می دهد که امکان تولید میکروالکترونیک های کوچکتر و قدرتمندتر را در آینده قابل پیش بینی فراهم می کند.