برخی از مفیدترین ویژگی های تترا فلوراید کربن به ویژگی های الکتریکی و دی الکتریک آن مربوط می شود.هنگامی که در معرض میدان های الکتریکی قوی قرار می گیرند،CF4تجزیه می شود تا یون ها و الکترون های فلوراید بسیار واکنش پذیر آزاد کند.
علاوه بر کاربردهای اچینگ، تترا فلوراید کربن همچنین به رسوب لایه نازک در ساخت دستگاه های نیمه هادی کمک می کند.هنگامی که به عنوان یک گاز پیش ساز در سیستم های رسوب بخار شیمیایی استفاده می شود، فلوئور به آسانی از CF4 جدا می شود و اجازه رسوب لایه های دی اکسید سیلیکون دوپ شده با فلوئور را می دهد.این لایههای عایق اکسید فلوئوردار در مقایسه با SiO2 استاندارد، ثابت دیالکتریک پایینتری دارند و سیگنالهای الکتریکی سریعتری را در ریزتراشههای با کارایی بالا ممکن میسازند.CF4 همچنین برای رسوب لایه های پلیمری فلوئوروکربن که به عنوان پوشش های ضد انعکاس بر روی مقاوم به نور در طول فرآیند لیتوگرافی عمل می کنند، استفاده می شود.علاوه بر این، افزایش پلاسمای مبتنی بر CF4 به رسوب شیشه سیلیکات آغشته به فلوئور کمک می کند، یک عایق جایگزین با ثابت دی الکتریک پایین تر از سیلیس خالص.
به طور خاص، CF4 استحکام دی الکتریک عالی 89 کیلو ولت بر سانتی متر در مقایسه با 30 کیلوولت بر سانتی متر برای هوا دارد.این توانایی برای عایقسازی ولتاژهای بالا در یک فضای فشرده، CF4 را برای دیالکتریکهای گازی در ژنراتورها، شتابدهندههای ذرات و تجهیزات پرقدرت RF ایدهآل میکند.
علاوه بر این، CF4 قابلیتهای فوقالعادهای برای خاموش کردن قوس را نشان میدهد.پس از ایجاد قوس، CF4 به آسانی جدا می شود و گونه های یونیزه و رادیکالی تشکیل می دهد که قطع جریان و خنک شدن را تسهیل می کند.این به CF4 اجازه میدهد تا به سرعت قوسهای موجود در کلیدهای مدار و تجهیزات تابلو برق را خاموش کند.
علاوه بر این، پایداری حرارتی چشمگیر CF4 آن را در حضور تخلیه های الکتریکی و دماهای بالا که باعث تجزیه سایر ترکیبات می شود، گازی و غیر واکنشی نگه می دارد.همه این ویژگی های الکتریکی، تترا فلوراید کربن را به یک جزء ضروری برای فعال کردن سیستم های قدرت فشرده و کارآمد تبدیل می کند.
زمان ارسال: اکتبر-16-2023