چالش های کار با گازهای لیزر اگزایمر

علیرغم مزایای آنها، ترکیب گازهای لیزر اگزایمر با برخی چالش‌های فنی ذاتی همراه است که نیازمند کنترل‌های مهندسی دقیق و اقدامات ایمنی است:

سمیت - گازهای هالوژن فعال مانند فلوئور و کلر دارای سمیت حاد هستند که به سیستم های انتقال گاز و اسکرابر نیاز دارند.

• خورندگی –مخلوط گازهای اگزایمربرای فلزات و مواد معمولی که نیاز به تجهیزات تخصصی دارند بسیار خورنده هستند.
•  
• واکنش‌پذیری – واکنش‌های جانبی می‌توانند محصولات جانبی انفجاری، سمی یا خورنده ایجاد کنند که باید از آن‌ها جلوگیری کرد.
•  
• طول عمر کوتاه - مولکول های گذرا اگزایمر به سرعت تجزیه می شوند و مدت پالس لیزر را محدود می کنند.
•  
• تخلیه - اتم‌های گاز نجیب و مولکول‌های هالوژن در حین عملیات مصرف می‌شوند که به سیستم‌های پر کردن مجدد نیاز دارند.
•  
• برودتی - نگهداری گازها در دماهای برودتی نیازمند تجهیزات تبرید پیچیده و پرهزینه است.
•  
• اکسیداسیون - ناخالصی هایی مانند بخار آب یا اکسیژن باید کمتر از قسمت در میلیون نگه داشته شوند تا از کاهش عملکرد جلوگیری شود.
•  
• هزینه - گازهای نجیب خالص و گازهای هالوژن همراه با تجهیزات دقیق منجر به هزینه های بالایی می شود.

با حرفه ایبا توجه به پروتکل‌های ایمنی، بازیافت گاز و کنترل‌های مهندسی پیشرفته، می‌توان خطرات و مشکلات گازهای لیزر اگزایمر را کاهش داد تا از قابلیت‌های منحصربه‌فرد و ارزشمند لیزر فرابنفش آنها به طور کامل استفاده شود.