مقدمه ای بر خواص تترا فلوراید کربن

تترا فلوراید کربن با فرمول شیمیایی CF4 یک گاز فلوئوروکربن غیر آلی است.هندسه مولکولی چهار وجهی دارد که از یک اتم کربن مرکزی که توسط چهار اتم فلوئور احاطه شده است، تشکیل شده است.در اینجا برخی از خواص فیزیکی و شیمیایی قابل توجه CF4 آورده شده است:

    تترا فلوراید کربن (CF4)به یک گاز ضروری برای صنعت الکترونیک، به ویژه در فرآیندهای اچ پلاسما و رسوب بخار شیمیایی تبدیل شده است.با محتوای فلوئور بالای خود، CF4 به رادیکال‌های فعال F و یون‌هایی تجزیه می‌شود که به طور انتخابی موادی مانند دی اکسید سیلیکون را بر روی سیلیکون حک می‌کنند.این اجازه می دهد تا الگوبرداری دقیق و شکل دادن به لایه های اکسید عایق بر روی ویفرهای نیمه هادی در طول تولید ریزتراشه.CF4 همچنین برای تمیز کردن محفظه های رسوب از طریق توانایی آن در حذف باقی مانده های سرسخت حاوی سیلیکون مفید است.علاوه بر این، CF4 می تواند به طور انتخابی تنگستن و تیتانیوم را حکاکی کند در حالی که آلومینیوم را حذف نمی کند.با شرایط پلاسمای قابل تنظیم، پلاسماهای CF4 حکاکی ناهمسانگرد را برای حفظ دیواره‌های جانبی عمودی روی ویژگی‌های اچ شده برای تولید مدار مجتمع امکان‌پذیر می‌کنند.

در دما و فشار استاندارد، گازی غیر قابل اشتعال و بی رنگ است.بوی اتری کمی ضعیف دارد.در حلال های آلی نسبتاً محلول است.چگالی بالای 3.72 گرم در لیتر در STP دارد که تقریباً 3 برابر سنگین تر از هوا است.این یکی از پایدارترین فلوریدهای کربن از نظر شیمیایی و حرارتی است.

CF4 در محدوده دمایی وسیع تا حدود 500 درجه سانتیگراد بی اثر می ماند.جز تحت فشار زیاد نمی توان آن را به راحتی مایع کرد.یک ویژگی کلیدی الکترونگاتیوی بالا و قدرت دی الکتریک آن است که حدود 2 برابر بیشتر از هوا است.این باعث می شود که به عنوان یک محیط دی الکتریک گازی مناسب باشد.به طور کلی، CF4 یک گاز بسیار متقارن، پایدار و غیر واکنشی است به جز در حضور گرمای شدید یا تخلیه الکتریکی.